..:: H O M E ::..
Search :  
ความรู้ทั่วไปเกี่ยวกับสิ่งเป็นพิษความรู้ทั่วไปที่นักวิชาการควรทราบพิษวิทยาคลีนิคก้าวทันโลกข้อมูลบริการแหล่งข้อมูลที่เกี่ยวข้อง
 
   
CLEAN ROOM ช่วยคนทำ Lab ได้อย่างไร

CLEAN ROOM

โชติรส วัฒนาธนกุล

"CLEAN" หมายถึง ความสะอาด
"ROOM" หมายถึง ห้อง

ดังนั้น "CLEAN ROOM " หมายถึง ห้องที่สะอาดปราศจากฝุ่นหรือจุลชีพ

มาตรฐานการควบคุมความสะอาด

      มาตรฐานของห้องสะอาด (Standard for Contamination Control Area) ที่สำคัญและนิยมใช้กันอยู่มี 3 มาตรฐาน คือ

        - U.S. Federal Standard 209e, date 11 Sept. 1992 : Airborne Porticulated Cleanliness Classes in Cleanrooms and Clean Zones;

        - British Standard BS 5295 (1989), Environmental Cleanliness in Enclosed Spaces :

Part 0 : General introduction, terms and definitions for cleanrooms and clean devices ;
Part 1 : Specification for cleanrooms and clean devices ;
Part 2 : Method for specifying the design, construction and commissioning of cleanrooms and clean device ;
Part 3 : Guide to operational procedures and disciplines applicable to cleanrooms and clean air device
Part 4 : Specification for monitoring cleanrooms and clean air devices to prove continued compliance with BS 5295.

        - VDI guildelines 2083 clean-room technology : The new issue of these standards which replace and expands the sheet 1 (Dec. 1976), 2 (1977) and 3 (Feb. 1983) is divided into the following
Sheet 1 : Fundamentals, definition and determination of air cleanliness classes ;
Sheet 2 : Construction, operation and maintenance;
Sheet 3 : Air measuring technology;
Sheet 4 : Surface cleanliness;
Sheet 5 : Comfort criteria;
Sheet 6 : Personnel at the clean working place;
Sheet 7 : Process media cleanliness;
Sheet 8 : Clean-room capabilty
Sheet 9 : Quality, production and distribution of cleanest water;
Sheet 10 : Media supply systems;
Sheet 11 : Clean-room technology quality assessmant

การจำแนกห้องสะอาดออกเป็นระดับความสะอาดต่าง ๆ กัน (Cleanliness Classes)

ตารางที่ 1.4 ระดับความสะอาดห้องสะอาดตามมาตรฐาน U.S.Fed.Std.209e

Class Limitsa
Class Nameb
0.1 µm
0.2 µm
0.3 µm
0.5 µm
5 µm
SI
Inch-Pound
Particles per m3
Particles per ft3
Particles per m3
Particles per ft3
Particles per m3
Particles per ft3
Particles per m3
Particles per ft3
Particles per m3
Particles per ft3
M1
 
350
9.9
75
2.14
30.9
0.875
10
0.283
-
-
M1.5
10
1,240
35
265
7.5
106
3
35.3
1
-
-
M2
 
3,500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
-
-
M2.5
100
12,400
350
2,650
75
1,060
30
353
10
-
-
M3
 
35,000
991
7,570
214
3,090
87.5
1,000
28.3
-
-
M3.5
100
 
-
26,500
750
10,600
300
3,530
100
-
-
M4
 
 
-
75,700
2,140
30,900
875
10,000
283
-
-
M4.5
1,000
 
-
-
-
-
-
35,300
1,000
247
7
M5
 
 
-
-
-
-
-
100,000
2,830
618
17.5
M5.5
10,000
 
-
-
-
-
-
353,000
10,000
2,470
70
M6
 
 
-
-
-
-
-
100,000
28,300
6,180
175
M6.5
100,000
 
-
-
-
-
-
3,530,000
100,000
24,700
700
M7
  
 
-
-
-
-
-
10,000,000
283,000
61,800
1,750

Source : Federal Standard 209E, Airborne Particulate Cleanliness Classes in Cleanrooms and Clean Zones, Sep 11,1992
a The Class limits shown are defined for classification purposes only do not necessarily represent the size distribution to the found in any particular situation.
b Concentration limits for intermediate classes can be calculated, approximately, from the equations :
     particles/m3 = 10M (0.5/d)2.2 where M is the numerical designation of the class based on SI units and d is the particle size in micrometers, or
      particles/ft3 = Ne(0.5/d)2.2 where Ne is the numerical designation of the class based upon inch-pound units and d is the particle size in micrometers.

ระดับความสะอาดที่สูงสุดของแต่ละมาตรฐาน ถูกระบุไว้ดังนี้

       - มาตรฐาน U.S. Fed. Std. 209e
ระดับ M1 (ระบบ Metric หรือ S.I.Unit) คือ ระดับความสะอาดสูงสุด คือ มีความเข้มข้นสูงสุดของอนุภาคที่มีขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไปจำนวน 10 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร หรืออนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.3 µm ขึ้นไป จำนวน 30 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร หรือ Class 1 (ระบบอังกฤษ) ซึ่งหมายถึงมีความเข้มข้นของอนุภาคที่มีขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป 1 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต
       - มาตรฐาน BS 5295 , Part 1 (1989): Class C ซึ่งหมายถึง ความเข้มข้นสูงสุดของอนุภาคที่มีขนาดตั้งแต่ 0.3 µm ขั้นไป จำนวน 100 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร
       - มาตรฐาน VDI 2083 , Sheet 1 : Class 0 : ซึ่งหมายถึงความเข้มข้นสูงสุดของอนุภาคที่มีขนาดตั้งแต่ 0.3 µm ขึ้นไป จำนวน 14 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร

ตารางแสดงการเปรียบเทียบมาตรฐานระดับความสะอาดต่างๆ สำหรับห้องสะอาด

Country
Germany
USA
USA
France (F)
Great Britain (GB)
Japan (J)
Guide-lines (issue)
VDI 2083 Sheet 1 1990
U.S. Fed Std.209d. 1988
U.S. Fed Std.209e. 1992
NF X44-101 1981
BS 5295 1989
JIS B 9920 clean room tentative! 1988
SI
Eng
Clean -
liness -
class
0
1
1
3
4
5
6
7

1
10
100
1000
10000
100000

M 1.5
M 2.5
M 3.5
M 4.5
M 5.5
M 6.5

1
10
100
1000
10000
100000



4000

400000
4000000

C
D
E,F
G,H
J
K,L
M
1
2
3
4
5
6
7
8

จากตารางข้างต้นนอกจากระบบวิธีการวัดที่แตกต่างกันและความแตกต่างของค่าเปรียบเทียบเล็ก ๆ น้อย ๆ ของแต่ละมาตรฐานแล้ว ค่าระดับความสะอาดของแต่ละมาตรฐานทั้ง 6 มาตรฐานนั้นหรือว่าเทียบเท่ากัน


จากการแบ่งระดับความสะอาดของห้องสะอาดตามมาตรฐาน U.S. Fed. Std. 209e
เราจะได้ระดับความสะอาดต่างๆ คือ

- ระดับ M 1.5 (Class 1) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 35.3 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (1 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 2.5 (Class 10) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 353 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (10 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 3.5 (Class 100) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 3,530 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (100 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 4.5 (Class 1000) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 35,300 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (1000 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 5.5 (Class 10,000) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 353,000 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (10,000 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 6.5 (Class 100,000) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 3,530,000 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (100,000 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)

ความแตกต่างของ Negative pressure และ Positive pressure

- Negative pressure เป็นห้องที่มีความดับต่ำ มีอากาศหนาแน่นน้อยกว่าบรรยากาศภายนอก จากหลักการการเคลื่อนที่ของอากาศจะเคลื่อนที่จากที่ที่มีความหนาแน่นของอากาศมากไปที่ที่มีอากาศหนาแน่นน้อยกว่า ดังนั้น ถ้าห้องเป็นแบบ negative pressure เมื่อเปิดประตูจะทำให้อากาศภายนอกเข้าสู่ภายในห้อง จุดประสงค์เพื่อป้องกันสารหรือสิ่งที่อยู่ภายในห้องออกสู่อากาศภายนอก

- Positive pressure เป็นห้องที่มีอากาศหนาแน่น ความดันสูงกว่าบรรยากาศภายนอกดังนั้นถ้าห้องเป็นแบบ positive pressure เมื่อเปิดประตูจะทำให้อากาศภายในห้องเคลื่อนตัวออก ซึ่ง positive pressure จะเป็นหลักการหนึ่งของห้อง clean room เพื่อป้องกันฝุ่น หรือ อากาศเสียภายนอกแพร่เข้าสู่ตัวห้อง

Refference

- นายกสมาคมวิศวกรรมปรับอากาศแห่งประเทศไทย clean room